薄膜电子材料成份和厚度的能谱分析

摘要：

本文利用能谱分析技术和牛津薄膜分析软件ThinFilmID对几种薄膜电子材料的厚度和成份进行了分析;分析结果与SEM断面测量，X射线荧光测厚和偏光干涉测厚测量结果进行了比较。结果表明如果已知薄膜的密度能谱分析技术能够准确的测量多层膜的厚度和成份，同时具有较高的空间分辨率和非破坏性样品制备简单等优点。

关键词： 薄膜电子材料 成份测量 厚度测量 能谱分析

作者: 孟丽君 焦汇胜

作者单位: 上海交通大学 材料科学与工程学院 牛津仪器纳米分析部应用技术中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国固体薄膜会议

会议地点: 南宁

会议语种:中文

页码: 100-103

在线出版日期: 2010-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）