β-FeSi2薄膜的电子束蒸发制备

摘要：

利用电子束蒸发技术以不同的沉积方式并经高温退火处理制备FeSi2薄膜，用XRD、FESEM和AFM手段对薄膜样品进行了表征，主要探讨了不同的蒸发沉积方式对薄膜结构的影响。结果表明直接蒸发FeSi2源以及蒸发Fe与Si源沉积Si／Fe／Si三层膜这两种方式得不到结晶质量较好的FeSi2材料，交替沉秘Fe、Si多层薄膜并经过900℃退火处理后样品出现了FeSi2相。

关键词： 电子束蒸发 β-FeSi2薄膜 结晶质量

作者: 邢光建 冯楠 王怡 武光明 刘太奇

作者单位: 北京石油化工学院材料科学与工程系,北京 102617 北京石油化工学院数理系,北京 102617

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国固体薄膜会议

会议地点: 南宁

会议语种:中文

页码: 129-132

在线出版日期: 2010-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）