硅基锗材料的外延生长及其应用

摘要：

硅基Ge材料是一种重要的硅基异质结构材料，它既是硅基高迁移率材料，同时也是重要的硅基光子学器件用材料，在硅基光电集成中具有重要的应用前景。本文将介绍硅基Ge材料的外延生长，讨论它的可能应用，重点介绍它在硅基高效发光器件、硅基高速低功耗光调制器、硅基高速长波长光电探测器等方面的应用研究进展。

关键词： 光电探测器 硅基锗材料 外延生长 发光器件 光调制器

作者: 成步文 王启明 薛春来 薛海韵 胡炜玄 汪巍 苏少坚 张广泽 罗丽萍 左玉华

作者单位: 中国科学院半导体所,集成光电子学国家重点实验室,北京 100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国固体薄膜会议

会议地点: 南宁

会议语种:中文

页码: 170-171

在线出版日期: 2010-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）