磁控溅射氧化钛薄膜的光学性能

摘要：

在常温下，采用反应磁控溅射法在K9双面抛光玻璃基底上制备氧化钛薄膜，采用XRD，光栅光谱仪、椭偏仪对样品进行测试，拟合分析得到薄膜的折射率和厚度等光学参数。结果表明氧化钛纳米薄膜呈非晶态，在可见光波段吸收小、是透明的，是用来构成一维光子晶体的理想组份，对其光学性能的基础研究为以后光子晶体的结构设计具有积极的意义。

关键词： 氧化钛薄膜 磁控溅射 透射谱 折射率

作者: 王丽格 黄美东 张琳琳 李鹏 佟莉娜

作者单位: 天津师范大学,物理与电子信息学院,天津 300387

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国固体薄膜会议

会议地点: 南宁

会议语种:中文

页码: 200-203

在线出版日期: 2010-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）