单晶硅纳米薄膜在氢氟酸表面处理下的特性研究

摘要：

在氢氟酸浸没1分钟后，对(001)硅纳米薄膜进行去离了水1分钟漂洗和不漂洗两种处理，在室温干燥空气中运用van der Pauw方法对其进行面阻测量，结果发现：与表面有自然氧化层的样品相比，氢氟酸表面处理后能使电导率有几个数量级的提高，漂洗后的样品比没漂洗的样品电导率稍底，这是由于在漂洗过程中样品表面已开始氧化。随着表面逐渐氧化，电导率逐渐复原，两种样品的电导率也达到一致。这些结果与X光电子图谱(XPS)得出的结果相符合。

关键词： 纳米薄膜 氢氟酸 电导率

作者: 赵祥富 Shelley Scott Minghuang Huang Max Lagally 韩平

作者单位: 南京大学电子科学与工程学院,江苏省光电信息功能材料重点实验室,固体微结构物理国家重点实验室,南京 210093 中国 Department of Material Science and Engineering,University of Wisconsin-Madison,Madison,53706 USA

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国固体薄膜会议

会议地点: 南宁

会议语种:中文

页码: 215-218

在线出版日期: 2010-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）