磁控溅射TiN的色泽研究

摘要：

用反应直流溅射方法，在抛光后的W18Cr4V高速钢基体的表面上制备TiN膜层。利用SEM对薄膜表面形貌进行了观测，通过色度计研究了氮气流量、偏压对TiN薄膜色泽的影响。结果表明，偏压和氮气流量对TiN色泽都有影响，而后者的影响更为明显。

关键词： TiN薄膜 磁控溅射 色泽

作者: 李鹏 黄美东 佟莉娜 张琳琳 王丽格

作者单位: 天津师范大学,物理与电子信息学院,天津 300387

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国固体薄膜会议

会议地点: 南宁

会议语种:中文

页码: 235-238

在线出版日期: 2010-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）