AZO/Ag/AZO复合薄膜电极的制备及其防氧化性能研究
大尺寸、高分辨率的场致发射平板显示器(FED)所使用薄膜电极要求电阻率很低，抗氧化性能良好，能够承受FED高温热处理工艺，但通常金属薄膜电极在高温热处理过程中会被氧化，导致导电性能显著下降，成为困扰FED发展的关键技术问题之一。本文采用RF磁控溅射制备AZO(Al-ZnO)薄膜，直流磁控溅射制备Ag薄膜，在玻璃基底上制备新型的银基复合薄膜面电极AZO／Ag／AZO，其中AZO作为保护层，Ag的导电层，厚度分别为50nm／400nm／25nm;同时利用湿法刻蚀工艺将Ag基复合薄膜制备成电极宽度为100 μm，间隙为140μm薄膜线电极。将AZO／Ag／AZO面电极和线电极同时在空气中退火，退火温度由250℃逐渐增加到600℃;由于AZO的保护作用，面电极的电阻率始终未有大的变化，为2.2-2.8×10-6Ω·cm;线电极在500℃空气退火后，仍然具有较低的电阻率，为3.0×10-6Ω·cm，而在600℃的高温退火后导电性能稍有劣化，但电阻率仍然具有7.4×10-6Ω·cm。并利用X射线衍射、光学显微镜研究薄膜电极在不同热处理温度之后的晶体结构、表面形貌。制备的AZO／Ag／AZO电极，满足FED热处理430℃高温处理的应用要求，同时此电极在其它高温环境下工作器件电极上同样具有广阔的应用前景。
复合薄膜电极 防氧化电极 Ag基膜系
李昱 于光龙 翁卫祥 贾贞 郭太良
福州大学 物理与信息工程学院,福州 350002
国内会议
南宁
中文
239-243
2010-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）