垂直式HVPE系统中衬底距出气口高度的数值模拟

摘要：

采用有限元分析法对自行研制的垂直式HVPE系统中衬底距离出气口的高度进行了三维数值模拟研究。分析比较了在不同的衬底距离出气口高度的情况下，衬底上方反应物的浓度分布以及流场的变化。结果表明，随着衬底距出气口高度的增加，流场的稳定性变差且出现了涡旋，衬底上方反应物的摩尔浓度下降，并解释了GaN表面沉积率的变化与反应物浓度分布及流场变化的内在联系。为反应室中衬底距离出气口高度的优化提供了依据。

关键词： HVPE系统 衬底高度 数值模拟

作者: 翟静会 万尾甜 陈贵锋 薛晶晶 张辉 郝秋艳 刘彩池

作者单位: 河北工业大学材料学院,300130

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国固体薄膜会议

会议地点: 南宁

会议语种:中文

页码: 260-262

在线出版日期: 2010-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）