FIB线路修改中的定位技术研究
介绍了聚焦离子束显微镜的基本功能及工作原理，分析了聚焦离子束显微境在IC工业上的应用前景。详细介绍了电路修改中所用的定位技术，分别为坐标位置定位、导航软件定位和光学图像定位，其中导航软件在电路修改中不仅可找到表面不可见的金属连线。而且在操作过程中对芯片的损伤最小。这些定位技术均在实践中得到应用，分别用于失效分析、台阶覆盖和键合引线的可靠性评估中。
聚焦离子束 电路修改 定位技术
章晓文 陈媛 林晓玲
电子元器件可靠性物理及应用技术重点实验室 广东 广州 510610
国内会议
张家界
中文
94-98
2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）