液晶热点检测技术在集成电路失效定位中的应用

摘要：

液晶热点检测技术是用来定位集成电路热部位的一种有效的失效分析手段，其空间分辨率和能量分辨率较高。本文介绍了液晶热点检测技术的基本原理，并提出了成功激发热点实现定位的关键要素：薄膜厚度、偏置状态、热点分析等。最后，给出了利用液晶热点检测技术对静态存储器的ESD损伤失效点进行定位的研究案例。

关键词： 液晶 热点探测 集成电路 失效定位

作者: 陈媛

作者单位: 工业与信息化部电子第五研究所 电子元器件可靠性物理及其应用技术重点实验室,广东 广州,510610

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010中国电子学会可靠性分会第十五届可靠性学术年会

会议地点: 张家界

会议语种:中文

页码: 99-103

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）