微机电系统中的粗糙面效应

摘要：

微机电系统(MEMS)中的粗糙面可能会导致MEMS中出现机械性能、电学性能以及光学性能方面的质量可靠性出现偏差，本文对这个领域的研究状况作了综述，并进一步介绍了本小组在该领域上的研究进展。

关键词： 微机电系统 粗糙面效应 质量可靠性

作者: 方文啸 黄钦文 刘欣

作者单位: 工业和信息化部电子第五研究所,广州,510610

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010中国电子学会可靠性分会第十五届可靠性学术年会

会议地点: 张家界

会议语种:中文

页码: 201-205

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）