氧在AlN非极性面的吸附结构与电子性质
采用第一性原理计算的方法研究了氧在铅锌矿AlN(10-10)和(11-20)面的吸附结构与电子性质.发现氧原子吸附要比分子吸附在能量上更为稳定,而且O2在靠近表面的过程中能都自动分解,因此发生分子吸附的可能性很小。由于氧原子半径小,N—O和A1-O键都比较强,氧原子在表面的扩散很难发生。这可能是造成A1N薄膜中氧杂质含量较高的重要因素之一。通过电子结构分析表明,氧吸附使得带隙中原来的表面态消失而引入与氧相关的表面态.
AlN 表面吸附 表面扩散 第一性原理计算
耶红刚 陈光德 伍叶龙
西安交通大学应用物理系,西安 710049
国内会议
西安
中文
151-154
2010-10-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）