X射线成像质量下降的研究

摘要：

针对医用x射线成像质量降低的问题,运用扫描电子显微镜(SEM)及其附带的能谱仪(EDS)对产生X射线的阳极靶进行了分析,结果表明:阳极靶在叠层烧结过程中,压坯之间隔层用氧化铝粉高温下熔融渗入靶材的W基体中,致使靶面受到污染,阳极靶发射X射线质量下降,成像质量降低。根据分析结果。提出了解决意见:通过更换隔层用氧化铝粉为钨粉,生产出纯W靶面的靶材,很好的解决了X射线成像质量下降的问题。

关键词： X射线 阳极靶 扫描电子显微镜 能谱仪

作者: 李鹏 包生祥 范荣魁

作者单位: 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川 成都 610054 成都虹波实业股份有限公司,四川 成都 610100

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 182-184

在线出版日期: 2010-10-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）