Sb掺杂对MOCVD生长的ZnO薄膜性质的影响

摘要：

利用MOCVD技术制备了Sb掺杂ZnO薄膜,在小掺杂量时研究了Sb的掺杂量对ZnO薄膜的结晶质量的影响,发现小掺杂量时随着Sb含量的增加ZnO薄膜的晶粒尺寸有所增加,结晶质量有所提高.

关键词： ZnO薄膜 MOCVD方法 掺杂改性

作者: 赵涧泽 梁红伟 李硕石 边继明 胡礼中 杜国同

作者单位: 大连理工大学,大连 116023

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 321-322

在线出版日期: 2010-10-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）