氧源对氧化锌薄膜基本性质的影响

摘要：

采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法,分别以高纯O2和NO作为氧源,在c面蓝宝石衬底上生长ZnO薄膜。XRD测试结果显示,ZnO薄膜都为(0002)面单一取向;但相较于使用O2氧源,改用NO氧源后,ZnO薄膜的晶体质质量得到了提高.(0002)面衍射峰的半峰宽由0.201°减小到0.192°,晶粒平均尺寸则由40.2皿增大到42.8nm。SEM测试结果显示,采用NO作氧源时,ZnO薄膜内的晶粒间界明显消除。同时低温PL测试结果表明,由于晶体质量的提高,使得采用NO氧源生长出的ZnO薄膜的紫外发光效率显著增强。

关键词： 氧化锌 MOCVD方法 氧源

作者: 赵龙 夏晓川 史志锋 王辉 董鑫 张宝林 杜国同

作者单位: 集成光电子国家重点实验室,吉林大学电子科学与工程学院,长春 130012 大连理工大学物理与光电工程学院,大连 116024 集成光电子国家重点实验室,吉林大学电子科学与工程学院,长春 130012 大连理工大学物理与光电工程学院,大连 116024

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 362-364

在线出版日期: 2010-10-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）