基于ZnO半导体纳米线的声表面波小波紫外探测器
随着对声表面波器件的不断深入研究,人们提出了用声表面波器件作为高明敏度传感器的构想。基于ZnO半导体纳米线对紫外光良好的紫外光电效应,我们提出了一种将ZnO纳米线和声表面波滤波器结构结合起来的高精度紫外探测器。这种紫外探测器是通过在以128°YX-LiNbO3为基底的声表面波滤波器传输卢路上涂覆一层ZnO纳米线紫外敏感膜制备而成。声表面波滤波器的中心频率为50.882MHz,涂膜后的声表面波滤波器与一个紫外光源和一台网络分析仪构成了整个紫外探测器的测试系统。 实验测试结果表明,在波长分别为365nm和254nm的紫外光照射下,紫外探测器的频移最大可达到3KHz,响应时间小于10s,重复特性较好。研究结果显示于基于ZnO半导体纳米线的声表面波紫外探测器在近紫外到中紫外波段的应用潜力。
ZnO纳米线 声表面波 紫外探测器
彭文博 文常保 贺永宁
西安交通大学电子与信息工程学院,西安 710049 长安大学电子与控制工程学院,西安 710064
国内会议
西安
中文
465-467
2010-10-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）