12吋半導體晶圓廠房之能耗與能源消耗指標研究
目前12寸半导体晶圆厂随着制程精密度的提高，对整体生产环境与厂务供应需求也提高，如制程设备电力品质、洁净室洁净等级、制程排气系统、制程冷却水系统、纯水系统、制程气体系统、化学品供应…等之要求也相对严格，制程精密度提高所反映出来的运转成本也相对提高。 随制程技术提升，半导体厂房愈建愈大，本研究利用中部某半导体晶圆厂运转数据，希望建立一个典型12寸半导体晶圆厂的各项能源消耗指标，作为各半导体厂对应比较之基准，提供给相关产业在设计新建厂房或者生产运转上相当重要的参考数据。
厂务系统 洁净室 能源消耗
駱文傑 林照閔 黃雍舜 陳兆雄
台湾勤益科技大學 冷凍空調與能源系
国内会议
珠海
中文
130-137
2010-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）