全熱交換器於半導體廠房之節能應用
台湾系属高温高湿之气候，因而除湿与空调等相关科技在环境温湿度控制占有很重要的地位。且台湾现正朝向高精密、高附加价值之产业迈进，作业环境要求精准之半导体业、光电产业、精密制造、通讯电脑、制药业等对低湿度环境之要求极为迫切，使得寻找更精良及更先进之除湿技术成为当务之急。本论文主要探讨全热交换器於半导体厂房的应用，将无尘室机台排出之一般热排气与MAU外气空调箱之引入外气作全热交换，以回收无尘室排出之冶能，可达节能减碳之效果。 由实际厂内之运转节能监控资料分析，全热交换器应用在MAU外气之除湿确有节能之效益。
全热交换器 半导体厂房 节能分析
林毓凡
台湾岡宏辰紇聯合技師事務所
国内会议
珠海
中文
138-144
2010-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）