微电子工业中空气化学过滤器的发展

摘要：

在半导体工业长期发展的进程中，可以明显地看到无论技术发展或产品质量都与现场气相环境有紧密关系。经典的活性炭吸附器正因微电子行业的需要，于90年代后期改名变成了时髦的化学过滤器。本文将从微电子行业洁净室的空气质量标准为基点，介绍化学过滤器相关的技术，一些有代表性的过滤器以及一些新型化学过滤器的发展动向。同时介绍了过滤器评价等问题。望能对微电子行业空气净化事业的发展引起重视。

关键词： 微电子工业 空气化学过滤器 空气净化

作者: 李启东 徐小浩 耿文韬

作者单位: 复旦大学环境科学与工程系 苏州华泰空气过滤器有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010中国(北京)洁净技术论坛暨2010中国苏州洁净室与相关受控环境技术论坛

会议地点: 苏州·北京

会议语种:中文

页码: 168-180

在线出版日期: 2010-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）