材料的出气分析以及TiN薄膜表面改性作用

摘要：

为了满足微波器件对材料的真空性能越来越高的要求，本文对材料的出气原因、过程以及不同气体在材料内的扩散特点等进行了初步的分析探索，指出材料在保持原有物化特性的基础上，通过表面改性，可以提高其真空品质。最后本文利用经过表面镀TiN膜的不锈钢材料与无镀膜的相同材料，在高温烘排后放出的气体量进行对比试验，结果表明通过TiN覆膜这种表面改性工艺可以提高微波器件材料的真空性能。

关键词： 表面改性 出气率 反应溅射

作者: 郑晓阳 张永清 赵金玉

作者单位: 中国科学院电子学研究所,中国科学院高功率微波源与技术重点实验室,北京 100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010年全国军事微波会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 698-700

在线出版日期: 2010-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）