谐振腔式微波等离子体金刚石膜沉积室的研究
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术被认为是制备高质量金刚石膜的一种最重要的技术手段。但是金刚石膜制备技术的失衡造成了目前国内高品质金刚石膜制备技术水平处于停滞状态，致使国内对高品质金刚石膜的迫切需要一直得不到满足。 本文通过HFSS软件对椭圆谐振腔式的微波等离子体的CVD装置进行设计及对主要尺寸进行优化，并通过相同条件下与圆柱谐振腔式的CVD装置的对比，得出了椭网谐振腔式微波等离子体CVD装置优于圆柱谐振腔式CVD装置这个结论。
等离子体 金刚石膜 谐振腔
张挺 唐璞 陈波
电子科技大学电子工程学院,成都 611731
国内会议
哈尔滨
中文
71-74
2010-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）