提高倒装AlGaInP LED光效的表面粗化研究

摘要：

为了提高光提取效率，对倒装LED表面进行粗化。采用湿化学法在AlGaInP LED的n型面上形成了三角结构粗糙表面。AFM分析了粗糙表面形貌，这种形貌与LED光输出功率有很大关联。20 mA下，表面粗化的LED与未粗化相比光功率提高80％。粗化的表面可减少光在AlGaInP材料内部的多次反射，使光线从内部折射出来，从而提高出光效率。

关键词： AlGaInP 表面粗化 发光二极管 三角形貌 全反射

作者: 张秋霞 夏伟 苏建 陈康 孔洪美 徐现刚

作者单位: 山东浪潮华光光电子有限公司,济南 250101

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国LED产业研讨与学术会议(2010’LED)

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 72-74

在线出版日期: 2010-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）