稀贵金属化学气相沉积(CVD)研究与应用

摘要：

本文简要介绍了贵金属和难熔金属等稀贵金属材料化学气相沉积(CVD)的研究进展,包括稀贵金属的CVD制备技术方法、前驱体化合物以及CVD在制备铼/铱喷管及连接方面的应用实例等。

关键词： 责金属 难熔金属 化学气相沉积 应用

作者: 胡昌义 陈力 魏燕 蔡宏中 毛传军 王云 常桥稳 陈家林 朱绍武

作者单位: 贵研铂业股份有限公司,稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室,昆明 650106

会议类型: 国内会议

会议名称: “贵金属的发展、超越”2010年全国贵金属学术研讨会

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 16-24

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）