椭圆模型在密集线路制作中的应用
文章介绍了椭圆模型在密集线制作中的应用,包括线路补偿、铜层厚度、线宽控制.依据椭圆模型,我们如何进行密集线生产操作和控制,使其达到理想的效果.
酸蚀 间距 自动动态补偿 线宽补偿量 蚀刻不均匀性
唐国梁
重庆方正高密电子有限公司
国内会议
深圳
中文
293-297
2010-10-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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