碱性蚀刻中孔对线宽的影响

摘要：

文章以理论分析为基础,对孔阵列中孔数量、孔线间距、孔径大小、孔线排布的走向等因素在碱性蚀刻中对线宽的影响进行了初步分析,确定了孔阵列中对线宽影响的主要因素,为解决孔间线细问题提供了一定价值的参考.

关键词： 孔阵列 蚀刻 孔间线

作者: 徐娟 田玲

作者单位: 深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010中日电子电路秋季大会暨秋季国际PCB技术/信息论坛

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 304-308

在线出版日期: 2010-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）