相位偏移干涉法精确测量微小角度

摘要：

本文介绍了一种利用相位偏移干涉技术来测量微小角度的方法，建立了一种二维微小角度的测量系统，验证了该系统测量角度的分辨力优于0.01”。同时对PI的二维柔性纳米工作台运作过程中的姿态变化进行了测量，得到了X、Y工作台移动中平面转角变化测量结果，并利用激光小角度干涉仪进行了相关测量点的对比实验，实验表明利用相位偏移干涉法可以实现微小角度的高精确测量。

关键词： 相位偏移干涉技术 角度 测量

作者: 朱振宇 王霁 牛立新 严家骅

作者单位: 计量与校准技术重点实验室 中航工业北京长城计量测试技术研究所 北京 100095 中航工业北京长城计量测试技术研究所 北京 100095

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010国防计量与测试学术交流会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 500-503

在线出版日期: 2010-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）