微间隙静电放电中局部真空形成机理及影响·
微间隙放电中放电参数的速度效应是一个研究热点。本文从流体力学基本原理出发，提出：电板移动速度电极的快速向靶移动导致小间隙内局部真空的形成，并产生小间隙放电中电子雪崩过程向表面过程的过渡现象。对部分真空形成过程性质进行了分析，而且就部分真空形成对放电参数的影响依据理论进行了估算。
气体压强 Bemoulli定理 参数 电极移动速度
阮方鸣 张睿 吴亮 周峰 孙思扬 王晓璐 陈璇 高攸纲
贵州师范大学物理与电子学院，贵州 贵阳 550001 工业与信息化部通信计量中心，北京 100191 北京邮电大学电子工程学院，北京 100876
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2010-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）