单质硅溶解法制备电子级硅溶胶的影响因素研究

摘要：

以工业级单质硅为原料,利用硅粉在碱性条件下与水的反应,通过控制物料配比和反应时间得到平均粒径30nm、浓度20％的硅溶胶.以铁离子含量作为主要的杂质检测指标,分光光度法测定结果证明:该工艺比离子交换法制得样品中铁离子含量降低了85％,可满足电子级要求.

关键词： 硅溶胶 电子级 铁离子 单质硅溶解法 杂质检测 分光光度法

作者: 任之君 陈姚 于欣伟 杨淑敏 张碧新

作者单位: 广州大学 化学化工学院,广东 广州,510006

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国化学工程与生物化工年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 1-6

在线出版日期: 2010-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）