浅谈扫描电子显微镜的维修与保养

摘要：

本文详细论述了扫描电子显微镜低压电路、高压电路、显像管电路、真空系统、镜筒部分等的常见故障及其维修方法，并结合实践，讨论了扫描电子显微镜的日常维护要点。

关键词： 扫描电子显微镜 维修保养 显像管电路 真空系统 故障处理

作者: 赖虔龙 龙水秀

作者单位: 赣州华兴钨制品有限公司，江西赣州 341000

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010(南昌)中西部第三届有色金属工业发展论坛

会议地点: 南昌

会议语种:中文

页码: 434-438

在线出版日期: 2010-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）