辉光放电离子溅射在扫描电镜样品制备中的应用
辉光光谱仪的样品激发方式是阴极溅射,逐层分离。这个特点决定了该技术也可用于扫描电镜的样品制备中。本文利用辉光光谱仪对热镀锌板样品进行了分析,用扫描电镜对得到的不同厚度处的“新”表面进行了形貌观测,用能谱仪进行成分分析,得到了较好的结果,说明辉光放电离子溅射是一种可行的扫描电镜样品制备方法。
辉光放电 扫描电镜 样品制备 镀锌板 离子溅射 辉光光谱仪
余卫华 陈士华 李江文 张穗忠
武汉钢铁(集团)公司研究院,武汉 430080
国内会议
北京
中文
183-188
2010-09-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）