半导体氧化锌铝(AZO)透明导电薄膜的光电性能

摘要：

本文分析了掺铝的ZnO薄膜的结构，讨论了温度．掺杂等AZO薄膜结构和光电性能影响，AZO透明导电薄膜的光学性质可以看成基本是掺杂粒子散射的自由电子所决定的。AZO透明导电薄膜具有高的可见光透过率、高的紫外光吸收性以及高的电子导电性能。

关键词： 氧化锌铝 透明导电薄膜 光电性能

作者: 陈静 郭卫

作者单位: 洛玻集团技术中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国硅酸盐学会电子玻璃分会2010年光电子玻璃技术研讨会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 106-110

在线出版日期: 2010-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）