快速热处理对电沉积CIGS预置层薄膜结构的影响
电沉积铜铟镓硒(ClGS)是一种低成本非真空制备薄膜太阳电池的方法,受到极大的关注。本文对从CuCl2、Incl3、GaCl3及H2SeO3所组成的酸性水溶液体系中,在Mo/玻璃衬底上电沉积得到的接近化学计量比的CIGS预置层进行了后处理,研究了升降温速率对薄膜结晶质量的影响。采用XRD、SEM对薄膜结构与形貌进行了观察和分析,并将其制备成电池测试其电学性能。结果表明,快速热处理(RTP)与普通的硒化处理相比,薄膜的结晶结构、表面形貌均有明显改善,同时对器件的电学性能也得到了显著的提高,制备出了效率达到8.8%CIGS薄膜电池。
电沉积 铜铟镓硒薄膜 快速热处理 太阳电池 结晶质量 表面形貌
张超 敖建平 刘新路 孙国忠 何青 周志强 孙云
南开大学光电子薄膜与器件研究所,天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,天津 300071
国内会议
南京
中文
755-759
2010-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)