磁控溅射ZAO薄膜的磁场研究
掺铝氧化锌(ZAO)是Cu(In，Ga)Se2薄膜太阳电池的透明导电极，磁控溅射是制备ZAO的主要手段之一，其磁场分布对约束等离子体、改善薄膜性能有重要影响。通过对矩形平面靶的高斯测量，得到靶面上方水平磁场强度H||的分布情况，沿靶面方向、高度方向H||均呈现不均匀性，随高度增加H||数值呈衰减趋势，沿靶面方向磁力线趋于均匀。本文通过有限元软件构建了ZAO靶表面腐蚀区的深度、宽度与磁场分布关系的理论模型。根据模拟结果发现，靶表面H||大小决定靶腐蚀区的深度，H||均匀程度决定腐蚀区的宽度。靶表面磁场分布模型，对分析靶材刻蚀区对应的衬底区域电阻率高的原因有重要意义。
磁控溅射 有限元 薄膜太阳电池 掺铝氧化锌薄膜 透明导电极
宋瑞良 张毅 刘玮 蔡永安 于涛 孙云
南开大学光电子所,天津 300071
国内会议
南京
中文
789-792
2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）