Cu2Te薄膜的制备及其性质的研究

摘要：

用共蒸发法制备了Cu2Te多晶薄膜，并对刚沉积和退火后薄膜的结构、光学性质、电学性质作了表征。结果表明退火对薄膜的结构影响显著，薄膜由非晶态变成了结晶态。经过退火以后薄膜的透过率增加，可见薄膜的晶化有利于光的透过。霍尔效应表明Cu2Te是一种良好的p型材料，退火有利于提高栽流子的迁移率，而其栽流子浓度也达到了1.88×1021cm-3。电导率-温度曲线说明退火过程有利于薄膜的结晶化。

关键词： 共蒸发法 多晶薄膜 光学性质 电学性质

作者: 谢晗科 雷智 吕斌 李卫 冯良桓 郑家贵 蔡亚平 张静全 武莉莉 黎兵

作者单位: 四川大学材料科学与工程学院,成都 610064

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国光伏大会暨展览会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 801-804

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）