CIGS薄膜太阳能电池的干法制备及光电特性

摘要：

利用磁控溅射技术，干法制备了Cu(In，Ga)Se2(CIGs)薄膜太阳能电池的鉬电极、吸收层、缓冲层、窗口层和上透明电极。用XRD、SEM对薄膜的晶体结构和表面形貌进行了袁征，用台阶仪测量薄膜的厚度，对薄膜材料的I-V特性和光谱响应，也作了初步的研究。经过反复实验优化了仪器的工作参数，为CIGS薄膜太阳能电池的工业化生产奠定基础。

关键词： 磁控溅射 干法制备 光谱响应 太阳能电池 光电特性 晶体结构 表面形貌 铜铟镓硒薄膜

作者: 夏存军 李超 李苗苗 王天兴 杨海刚 宋桂林 常方高

作者单位: 河南省光伏材料重点实验室,河南师范大学物理与信息工程学院,河南新乡 453007

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国光伏大会暨展览会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 809-813

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）