Cu衬底上化学水浴法生长In2S3制备CuInS2薄膜

摘要：

本文采用低成本的化学水浴法，在Cu衬底上制备了In2S3薄膜，再通过后期的热处理制备CIS薄膜。用XRD、SEM、EDS对制备的薄膜进行了表征，并比较了不同的热处理工艺得到的薄膜的差别。

关键词： 化学水浴法 CuInS2薄膜 热处理工艺

作者: 盛夏 陈官璧 汪雷 杨德仁

作者单位: 浙江大学材料科学与工程学系,硅材料国家重点实验室,浙江 杭州 310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国光伏大会暨展览会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 846-848

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）