18英寸直拉硅单晶炉热场的数值模拟

摘要：

用专业直拉单晶有限元分析软件，如CG sim等模拟18时直拉单晶硅炉内部热场，得到热效率高的直拉单晶炉热场分布，可以用于改善热场加快结晶潜热的散发，提高拉晶效率。本文用通用有限元软件ANSYS建立了直拉单晶炉热场，从热力学角度对直拉单晶热场进行了模拟，与专业有限元分析结果对比，优化结果相同;以优化后的热力学条件为参数，对直拉单晶结晶动力学过程进行了分析，理论上说明拉晶速率有可能提高到2 mm/min。

关键词： 直拉单晶硅 有限元分析 数值模拟 拉晶效率

作者: 叶淑娅 郑锴 孙崇良 杨晓忠 李华

作者单位: 常州天合光能有限公司,江苏省 常州市 213031

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国光伏大会暨展览会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 980-983

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）