SiC切割能力的表征及与多线切割的相关性研究

摘要：

SiC为多线切割中最重要的辅料之一，它的切割性能直接影响了切割品质的好坏。本文通过对SiC颗粒微粉分布，颗粒形貌，清洁度的分析来表征SiC的切割能力，从而根据不同切割能力的SiC选择不同的切割工艺，达到稳定切割良率的目的。

关键词： 切割能力 微分分布 多线切割 碳化硅 颗粒形貌 清洁度

作者: 张华 卜恽静 周涛 杨晓忠

作者单位: 常州天合光能有限公司,中国 213031

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国光伏大会暨展览会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 984-986

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）