砂浆pH对硅片切割性能的研究

摘要：

硅片切割砂浆质量的稳定性决定了切割性能的好坏，而硅片切割砂浆主要是一种由siC颗粒与PEG悬浮液组成的混合溶液。本文研究多线切割中，SiC颗粒与PEG悬浮液的pH波动，时硅片切割砂浆pH造成的影响，并分析砂浆切割能力。

关键词： 线切割 硅片切割性能 砂浆质量 混合溶液

作者: 冯萍 张华 姚敏敏 周涛

作者单位: 常州天合光能有限公司,江苏常州 213031

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国光伏大会暨展览会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 1028-1030

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）