低压化学气相沉积(LPCVD)系统用DEZ的分析

摘要：

本文主要针对科利德公司自主生产的DEZ产品，以电感耦舍等离子体质谱仪(ICP-MS)主要分析仪器，通过对样品的特殊氧化溶解处理得到适用于分析仪器使用的样品，建立了完善的金属杂质分析检测方法。通过与进口产品数据进行比较，发现两者之间水平相当，从而保证为薄膜太阳能生产客户提供合格的DEZ产品。

关键词： 低压化学气相沉积 特殊氧化溶解 金属杂质分析检测 薄膜太阳能电池

作者: 裴凯 计燕秋 谭云 毕聪智

作者单位: 大连保税区科利德化工科技开发有限公司,辽宁大连 116600

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国光伏大会暨展览会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 1114-1117

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）