480 kg铸锭工艺的研究
目前GT铸锭炉使用的是878mm×878mm×420mm坩埚和450 kg的铸锭工艺。在装料的重量上由于坩埚尺寸原因而受到限制，同时由于铸锭工艺的原因导致生产出来的晶锭晶粒偏小，进而影响多晶硅片的转换效率。本文论述了通过采用定制的加高坩埚和全新的铸锭工艺来生产480 kg晶锭，不仅增加了硅料的投炉重量，而且增大了晶锭中晶粒的尺寸，提高了多晶硅片的转换效率。通过对480 kg与450 kg铸锭工艺生产的晶锭数据进行对比后发现，前者的铸锭工艺要明显优于后者。
坩埚 铸锭工艺 温度梯度 多晶硅片 转换效率
王沛涛 吴彬辉 朱立平 张泽兴
江西旭阳雷迪高科技股份有限公司,江西 九江 332900 东南大学能源与环境学院,江苏南京 210096
国内会议
南京
中文
1118-1121
2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）