晶体硅电池的氧化硅-氮化硅双层薄膜特性研究

摘要：

减少栽流子的表面复合损失，提高钝化效果，采用氧化硅-氮化硅双层薄膜结构是一种比较好的方法。本文通过热氧化方法和PECVD方法生长了氧化硅-氮化硅薄膜。并通过少子寿命测量的方法，研究了不同工艺条件下生长的氧化膜对硅片少子寿命的影响。

关键词： 硅太阳能电池 氧化硅薄膜 钝化效果 热氧化

作者: 冯鑫 刘金宁 潘盛 孙铁囤

作者单位: 常州亿晶光电科技有限公司,江苏 常州 213200

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国光伏大会暨展览会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 107-108

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）