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一种优化的多晶硅扩散工艺

晶体硅太阳能电池近年来得到了广泛的应用,由于其生长过程的不同,分为单晶硅、多晶硅两种结构,而制作电池片的核心工序为磷扩散。多晶硅电池由于其表面存在大量不同的晶体取向,而各种不同的晶体取向及晶粒间界的离子扩散速度有较大差异,使多晶硅电池磷扩散工艺难以控制。本文针对多晶硅电池扩散工艺的均匀性控制进行了研究,优化了多晶硅电池的扩散工艺,提高了扩散均匀性。

硅太阳能电池 扩散工艺 晶体取向

李钟华 潘盛 孙铁囤

常州亿晶光电科技有限公司,江苏 常州 213200

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2010-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)