晶体硅电池表面钝化技术进展
随着晶体硅太阳电池技术的不断发展，电池表面钝化变得越来越重要。本文介绍了几种晶体硅电池表面钝化方法，包括等离子体增强化学气相沉积氮化硅、等离子体增强化学气相沉积非晶硅、热氧化二氧化硅以及原子层沉积三氧化二铝。从原理上对它们的钝化机理做出一定分析，并介绍了它们在应用上的优缺点。
表面钝化 硅太阳能电池 氮化硅 等离子体 化学气相沉积
朱彦斌 梁宗存 陈达明 沈辉
中山大学太阳能系统研究所,广东 广州 510006
国内会议
南京
中文
153-156
2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）