湿化学腐蚀法制备选择性发射极太阳电池
本文采用单步扩散结合湿化学腐蚀的方法制备选择性发射极太阳电池。研究了不同配比的HF/HNO3腐蚀液对发射极结构的影响关系，发现富HNO3溶液的效果较好;分析了腐蚀后硅片磷浓度的分布，腐蚀后硅片的表面浓度有明显的降低;腐蚀再经钝化后硅片的少子寿命随方块电阻的增加而提高，但时更高的方阻则需要调整钝化工艺才能达到更好的钝化效果。最后还制备了光吸收区的方块电阻分别为65 Ω/□和85 Ω/□的两组选择性发射极电池，效率分别为17.3％和17.4％，后者具有更佳的短路电流和短波响应。
选择性发射极 湿化学腐蚀 太阳电池
曾飞 梁宗存 宋昊 沈辉
中山大学太阳能系统研究所,广州 510006
国内会议
南京
中文
157-160
2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）