用于高效太阳电池的链式氧化工艺探索
高效晶硅电池(如PESC，PERL等)需要热生长二氧化硅膜作为表面钝化层，用以降低表面的复合速率。适当降低氧化层的厚度可以提高电池的电流密度，并且大规模生产需要时间相对较短的工艺和较简易的操作流程。因此，与链式扩散方式相近的链式氧化成了我们可以探索的一个课题。本文讨论了不同氧化温度、氧化时间以及硅片在炉中的摆放方式等对氧化后少子寿命的影响和对电池表面开压的影响。
太阳能电池 链式氧化 二氧化硅膜 电流密度 表面开压
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国内会议
南京
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174-177
2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）