AZO膜制备工艺对AZO/Ag/AZO复合膜光电性能的影响

摘要：

本文采用射频磁控溅射方法制备AZO/Ag/AZO复合膜，利用紫外可见红外分光光度计和四探针测试仪,研究AZO膜制备工艺(沉积气压、射频溅射功率、氧流量和ZnO靶材的Al2O3掺杂浓度)对AZO/Ag/AZO复合膜光电性能的影响，得出优化的复合膜制备工艺。优化后的复合膜品质因子比普通AZO单层膜的品质因子高出了一个数量级，约为1.7×10-2Ω-1。

关键词： 磁控溅射 膜制备工艺 光电性能 品质因子 硅太阳能电池

作者: 王淑珍 乔琦 陈肖静 王永谦 朱拓 施正荣 张光春

作者单位: 江南大学理学院,江苏无锡 2141221 尚德电力控股有限公司薄膜研发部,江苏无锡 214028 江南大学通信与控制工程学院,江苏无锡 214122 尚德电力控股有限公司薄膜研发部,江苏无锡 214028 尚德电力控股有限公司薄膜研发部,江苏无锡 214028 江南大学理学院,江苏无锡 214122 河海大学能源与电气学院,江苏 南京 210098

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国光伏大会暨展览会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 178-182

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）