纳米柱状SiO2减反射膜的模拟计算及其制备研究
本文采用严格耦合波理论(Rigorous coupled-wave analysis，简称RCWA)解释了纳米结构减反射膜的极低减反射特性。在对柱状结构的新型减反射薄膜进行计算机模拟的基础上，分析了各种参数对反射率曲线的影响，定性地对反射率曲线进行了解释，并优化了新型减反射膜的设计。使用超高真空电子束蒸发镀膜机制备纳米SiO2减反射膜。通过一系列的实验，改变不同的实验条件得到不同的样品。利用SEM观察样品表面形貌、断面形貌和膜层厚度。选取不同条件下的样品测量反射性能，确定影响薄膜性质的工艺参数，并对反射率与波长的变化关系进行了分析讨论。
减反射膜 模拟计算 纳米结构 反射特性 太阳能电池
张磊 娄朝刚
东南大学电子科学与工程学院,南京 210096
国内会议
南京
中文
190-194
2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）