晶体硅表面的碘酒/乙醇溶液钝化

摘要：

本文研究了P型(100)直拉单晶硅片的碘酒/乙醇溶液钝化技术。首先比较了HF和碘酒/乙醇溶液钝化，发现碘酒/乙醇溶液钝化具有更高的少子寿命。接着通过仔细的前清洗流程，优化的浓度为0.01mol/L的溶液，获得了非常好的钝化效果。125 μm 2 Ω·cm单晶硅片少子寿命可以达到124 μs，表面复合速率小于50 cm/s。经过该方法钝化的硅片的有效寿命比较高，对我们准确监控硅片的质量具有重要的意义。

关键词： 太阳能电池 乙醇溶液 晶体硅表面 碘酒钝化

作者: 王朋 杨德仁 余学功 阙端麟

作者单位: 浙江大学材料科学与工程系硅材料国家重点实验室,杭州 310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国光伏大会暨展览会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 195-197

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）