超纯氨杂质分析

摘要：

超纯氨现广泛应用于LED、TFT、集成电路等领域，在PV行业，则作为晶体硅太阳能电池中氮化硅薄膜重要的氮源，它的质量对太阳能电池起着至关重要的作用，因此对其分析技术提出了较高的要求。本文论述了超纯氨中痕量杂质的分析方法，特别是使用光腔衰荡光谱法对极具挑战性的超高纯度气体中微量水分的分析。

关键词： 硅太阳能电池 超纯氨杂质 氮化硅薄膜 痕量杂质分析 光腔衰荡光谱法

作者: 谭云 张琳

作者单位: 大连保税区科利德化工科技开发有限公司,辽宁 大连 116600

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国光伏大会暨展览会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 277-278

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）